Protherm yatay tüp fırın, katı hal fiziği, yarıiletken teknolojisi ve malzeme bilimi laboratuvarlarında; toz numunelerin, fonksiyonel seramik bileşenlerin veya altlıklar üzerine kaplanmış ince filmlerin hava ortamında, yüksek vakumda ya da koruyucu gaz atmosferi (argon, azot vb.) altında hassas bir şekilde ısıl işleme (annealing) tabi tutulması, sinterlenmesi ve yüksek sıcaklık katı hal reaksiyonlarının gerçekleştirilmesi amacıyla kullanılan yatay tip bir termal işlem sistemidir. Çalışma tüpü boyunca mükemmel bir sıcaklık homojenliği sunan ve programlanabilir PID kontrol sistemi sayesinde çok basamaklı sıcaklık/zaman (artış, bekleme, soğutma) döngülerine olanak tanıyan bu cihaz; yarıiletkenlerin kristal kalitesini artırmak, MOS (Metal-Oksit-Yarıiletken) yapılarındaki termal gerilimleri gidermek, arayüzey tuzak yoğunluğunu iyileştirmek ve malzemelerin kontrollü termal süreçlerdeki yapısal faz dönüşümleri ile örgü parametresi değişimlerini incelemek için kararlı bir altyapı sağlar.
