Varian 840, katı hal fiziği, yüzey bilimi ve ince film/yarıiletken teknolojisi araştırmalarında; laboratuvar ortamındaki test odalarının veya kaplama sistemlerinin içindeki gaz moleküllerini uzaklaştırarak moleküler akış rejimine sahip, temiz ve yüksek vakum (10-5 ile 10-8 Torr mertebelerinde) ortamları oluşturmak amacıyla kullanılan entegre bir vakum pompalama sistemidir. Genellikle bir mekanik ön vakum pompası (roughing pump) ve yüksek vakumu sağlayan bir difüzyon veya turbo-moleküler pompanın senkronize çalışması esasına dayanan cihaz; gaz moleküllerinin arka plan saçılmalarını ve kontaminasyonunu (kirlenmeyi) minimuma indirerek, özellikle ince film büyütme (PVD/CVD) prosesleri, yüksek hassasiyetli elektriksel (C-V/I-V) karakterizasyonlar, ısıl işlemler ve gaz duyarlı yüzey analizleri için gerekli olan kararlı ve ultra-temiz vakum altyapısını sağlar.
