Hızlandırma voltaji: 0,2 - 30 kV
Büyütme aralığı: < 7 -1.000.000
Chamber: 310 mm (Ø) x 220 mm (Ø)
Maksimum numune yüksekliği: 100 mm
Rezolüsyon: < 5 nm (30 keV elektronlu dalga boyunda = 0.007 nm)
Taramalı elektron mikroskobu ile seramik, metal, polimer, ince film, jeolojik malzemeler ve biyolojik numunelerin topografi, morfolojik analiz, içyapı analizi (faz, tane boyutu, tane şekli, vs.), kırılma yüzeyi ve çatlak analizi, yüzey element analizi (bileşim) hakkında bilgi elde edilir. Cihazda bulunan ikincil elektron görüntü (SE) ve geri yansıyan elektron (BSE) dedektörleri ile yüksek çözünürlükte görüntü elde edilmektedir. Cihazla birlikte EDS sistemi ile belirlenmiş bir nokta, çizgi ve alan taraması ve seçilmiş alan X-ışını haritalanması yapılmakta ve bu bölgelerde kalitatif ve kantitatif analizler yapılabilmektedir. Yalıtkan numunelerin analizi için numune hazırlamada kullanılmak üzere yüksek vakum sputter yöntemiyle Au-Pd kaplama cihazı mevcuttur. Ayrıca biyolojik örnekler için kritik nokta kurutucusu mevcuttur. Bu sayede, dokularda fizyolojik veya patolojik olarak, ya da deneysel yöntemlerle ortaya çıkan morfolojik değişikliklerin analizi yapılmaktadır.
