Çözünürlük Verileri
- 1 kV'de 0.9 nm.
- 1 kV (beam decel.)?de 0.8 nm.
- 1 kV ve 10 mm çalışma mesafesinde (beam decel.) 1.0 nm.
- 500 V (beam decel.)?de 0.8 nm.
- 200 V (beam decel.)?de 1.2 nm.
Dedektörler
- Kolon içinde bulunan elektron dedektörleri (T1, T2, T3):
- Everhart-Thornley detektörü (ETD)
- Geri saçılmış elektron detektörü (DBS)
- Düşük vakum SE dedektörü (LVD)
- Taramalı geçirimli elektron dedektörü (STEM)
- Thermo Scientific UltraDry Enerji dağılımlı X-ışını dedektörü (EDS)
- Thermo Scientific Lumis geri saçılmış elektron kırınım dedektörü (EBSD)
Değişken Basınçta Görüntüleme
Thermo Scientifıc Apreo 2S, 10-500 Pa aralığında ayarlanabilen basınç değerleriyle çalışabilen bir elektron mikroskobudur. Bu özellik, yalıtkan numunelerin dahi yüksek çözünürlükte görüntülenmesine olanak tanırken, aynı zamanda EDS ve EBSD analizlerinin de gerçekleştirilmesini sağlar.
ChemiSEM
Kısa süreli görüntüleme süreçlerinde dahi malzemelerin element dağılımını gösteren renkli görüntülemeler yapılabilmektedir.
Yapılan Analizler
- SEM görüntüleme
- SEM-EDS analizi
- STEM analizi
- EBSD analizi
- ChemiSEM
